2025年度ビーム物理研究会、若手の会

Session

本会 招待講演

18 Mar 2026, 14:10

Conveners

本会 招待講演

• Chikaori MITSUDA

45. Ｘ線天文衛星XRISMと実験室宇宙物理学

弘悦 山口 (JAXA)

18/03/2026, 14:10

宇宙に存在する物質の大部分は、Ｘ線を放射する温度帯（数100万度〜数億度）のプラズマとして存在する。したがって天体プラズマのＸ線観測は、宇宙の力学的・化学的進化を理解するうえで不可欠である。

JAXAが運用するＸ線分光撮像衛星XRISMは、このような宇宙の高温プラズマを観測するために開発されたミッションである。主力観測装置であるＸ線マイクロカロリメータResolveは、50 mKの極低温で稼働する非分散型の分光装置であり、4.5 eV @ 6 keV...

44. X線による半導体チップメトロロジー

逹則 澁谷 (産業技術総合研究所)

18/03/2026, 15:10

AIチップなどに代表される先端半導体開発は, 成長分野の中核を担う重要な基盤技術であり, 今後も高NA EUVリソグラフィーや3DICパッケージング技術の進展による高性能化が期待されている. 一方で, リバースエンジニアリング等の脅威による技術流出が懸念されており, これを阻止する技術やより高度な評価技術は安全保障上, 重要となる. X線は高い透過力を持つことから非破壊的なイメージング計測への展開が可能であり, パッケージング後の半導体機器を直接計測及び評価できる強みがあるが, 既存技術がプロセス精度レベルの計測精度には達していないことや, 複数のX線エネルギー領域で高分解能化が求められていること,等の理由から産業利用は限定的であった. 本講演では我々が研究開発を進めている, 高感度シンチレータや小型X線源の開発などについて紹介し, 将来的な先端半導体のX線イメージングへの展開について述べる.